Особенности построения форвакуумных магистралей высоковакуумных систем. Проводимость магистрали и изгибающие моменты.

Проводимость элемента вакуумной системы — отношение потока газа Q, проходящего через элемент вакуумной системы, к разности давлений р1- р2 на его концах.

U = Q/(p₁-p₂)

Единица проводимости — м³/с.

Проводимость сложных вакуумных систем, состоящих из отдельных_ эле-ментов, определяют аналогично сопротивлению электрических цепей: при последовательном соединении n элементов вакуумной системы с известной проводимостью U_i, проводимость системы U определяют по формуле:

при параллельном соединении nэлементов вакуумной системы ее общая проводимость U равна сумме проводимостей всех элементов:

Быстроту откачки объекта S₀ объемом V₀ при давлении р₀ определяют по быстроте действия насоса S и проводимости трубопровода U при условии постоянства потока газа Q=const.

Уравнение (3.8) представляет собой основное уравнение вакуумной техники, которое выражает отличие быстроты откачки объекта S₀ от быстроты действия насоса S при наличии трубопровода проводимостью U.

ВАЖНО!

Соответственно, систему откачки необходимо проектировать таким образом, чтобы проводимость магистрали была много больше производительности насоса, тогда
S₀ ≈ S и ресурс насоса используется полноценно. Для этого откачную систему располагают максимально близко к камере, а высоковакуумная магистраль должна быть максимально широкой.