Газовыделение с поверхности в высоковакуумных системах. Меры для снижения газовыделения.

Газовыделение с внутренних поверхностей вакуумной сис­темы существует всегда, однако величина потока обычно мала и поэтому принято учитывать потоки газовыделения только при рас­смотрении условий в высоком вакууме.

Источниками газовыделения являются приповерхностные эф­фекты, связанные с присутствием сорбированных газов на поверх­ности материала и растворенных в самом материале. Выход этих газов с внутренней поверхности оболочки вакуумной системы и создает поток газовыделения. Величина такого потока определяет­ся свойствами самого материала, его газонасыщенностью и состоя­нием поверхности. Чем чище поверхность и выше уровень ее обра­ботки (шлифовка, полировка), тем меньше количество содержащегося на ней газа и ниже уровень газовыделения. Процессы газовыделения можно ускорить путем на­грева стенок вакуумной системы до температуры 250-650°С.

8. Основные типы соединений в вакуумно-плазменных системах (условным проходом менее DN40). Особенности их применения.

       Вакуумные фланцы типа KF (KleinFlange)используется для быстрого и неоднократного соединения деталей в вакуумных системах с диаметром условного прохода 10-50 мм. Соединительный элемент с фланцами KF является лучшим вариантом для вакуумных систем, требующих частой сборки и разборки. Диаметр условного прохода имеет стандартные показатели: 10, 16, 25, 50, 63, 80, 100, 160 мм. Условия применения: 1 атм до 1х10^-8торр. Фланцы изготовлены из высокопрочной стали марки 304ss. Герметичность соединения фланцев KF достигается благодаря равномерному сжатию эластомерного (витонового или другого) уплотнения, располагаемого между двух фланцев, которые притягиваются друг другу с помощью радиального хомута.

       Преимущества KF фланцев:

       использование в установках низкого, среднего и высокого давления.

       Создание вакуумных систем из стандартных элементов

       Сборка без использования специальных инструментов.

       Быстрая установка и замена.

       Неконтролируемая ориентация (фланцы располагаются в свободном положении, могут быть развернуты относительно друг друга на произвольный угол).

       Вакуумные фланцы типа СF (ConFlat).Используются для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума – от атмосферного давления до 1x10-13 торр. В качестве уплотнения в данном стандарте используют два типа прокладок – плоское кольцо из отожженной меди давление (до 10^-13 торр и термостойкость от -200°С - +450°С) и витоновое кольцо (-20 +150°С, до 10^-8торр). Принцип уплотнения состоит в механической деформации прокладки специальными острыми выступами («зубьями»), расположенными на фланцах. Стандарты: DN 16, 40, 63, 100, 160, 200, 250.