Порядок измерения быстроты откачки методом постоянного давления

Рекомендуется следующий порядок измерения быстроты откачки методом постоянного давления.

1. До начала измерений проверить, открыт ли трехходовой кран 9 (бюретка соединена с атмосферой) и закрыт ли натекатель 8 (см. рис. 1.4).

2. После достижения предельного остаточного давления установить в камере необходимое давление, медленно открывая натекатель, контролируя давление по вакуумметрам.

3. Соединить бюретку с системой.

4. С помощью секундомера замерить время поднятия масла на число делений, удобных для вычисления быстроты откачки.

5. Одновременно с измерением времени поднятия масла контролировать давление в насосе и камере. В случае неустойчивых показаний допускается усреднение получаемых значений из трех - пяти отсчетов.

6. Изменить давление в камере и повторить измерения.

7. Рассчитать скорость откачки камеры и насоса и построить зависимости S_к = f(p) и S_н = f(p).

8. Результаты измерений занести в форму табл. 2.1.

Форма таблицы 2.1

Результаты измерения быстроты откачки методом постоянного давления

Требования к отчету

Отчет должен содержать:

1) краткий конспект теоретической части работы;

2) результаты измерений, занесенные в форму табл. 2.1;

3) вычерченные на миллиметровой бумаге зависимости S = f(p), найденные методом постоянного давления;

4) выводы по результатам работы.

Контрольные вопросы

1. Какие типы высоковакуумных насосов вы знаете? Каковы их основные конструктивные различия?

2. Какое предельное остаточное давление достигается с помощью известных Вам высоковакуумных насосов и чем оно ограничено?

3. Каковы основные причины неисправной работы высоковакуумных насосов?

4. От каких факторов зависит скорость откачки ДПМН?

5. Какие факторы влияют на скорость откачки ТМН?

6. Какие методы измерения скорости откачки вы знаете?

7. Каким требованиям должно удовлетворять масло, применяемое в диффузионных вакуумных насосах?

8. Какие требования предъявляются к материалам, из которых изготавливаются высоковакуумные насосы?

9. Дайте определения основных характеристик высоковакуумных насосов.

10. Назовите причины повышения предельного остаточного давления в вакуумных системах.

11. Какие особенности эксплуатации следует учитывать при работе с ТМН и ДПМН?

Литература

1. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учебник для вузов по спец. «Вакуумная техника» 3-е изд. – М.: Высшая школа, 2007.  

2. Сырчин В.К., Назаров Г.В., Ануфриенко В.В. Лабораторный практикум по курсу «Техпроцессы и оборудование микроэлектроники». Часть 2. – М.: МИЭТ, 2002.